联合清华系MEMS团队，「同方华创」或在智能微系统技术领域有新发展

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36氪最近发现，清华大学新孵化了一家高新科技公司，或在半导体、集成电路方向有所进展。

根据公开资料，北京同方华创科技有限公司（以下简称「同方华创」）是同方科工产业本部所属高科技企业，成立于2019年9月。公司联合清华大学MEMS专家团队，致力于智能微系统技术领域的新产品的设计研发，服务航空航天、海洋装备、轨道交通、能源环保、物联网等行业领域。 

公开的工商信息显示，公司的经营范围包括技术开发、咨询相关、软件开发、基础软件服务、应用软件和计算机系统服务、数据处理（数据处理中的银行卡中心、PUE值在1.4以上的云计算数据中心除外）等，覆盖行业包括工程、农业、医学、电子产品等。

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天眼查公开信息显示，公司注册资本为1300万人民币，代表法人为是同方股份有限公司的现任副总裁张兴虎，北京同方实业有限公司持股52%，为其最大股东；最终受益人为阮勇，持股33.6%；华控技术转移有限公司持股14.4%。其中，同方实业由同方股份100%控股，华控技术由清华技术100%控股。

核心团队方面，公开信息显示目前公司有20人。其中，第二大股东阮勇为清华大学教授，从事微纳米技术研究，尤其关注MEMS工艺与相关器件等方面，具体研究领域包括：（1）MEMS器件与关键技术；（2）硅基MEMS工艺规则设计与加工技术，已发表论文20余篇，被SCI、EI收录10余篇；申请中国发明专利14项，已经授权8项；军民融合产业本部副总经理鞠庆任公司董事。

值得一提的是，「同方华创」拥有已获批的发明专利“MEMS硅桥膜结构继电器及其制备方法”。据悉， MEMS桥膜结构静电驱动继电器的制备方法属于MEMS器件的设计制造领域，该继电器桥膜结构以体硅工艺为主，可避免表面硅工艺牺牲层释放不彻底的问题，这意味着能有效提高桥膜结构质量。网上的公开信息显示，这在MEMS继电器、开关、传感器等方面有重要应用。

更详细的信息尚未公开披露，该项目仍处于早期。