集成电路装备以国产化壮大半导体产业

随着半导体行业的快速发展，应用场景的不断扩展，从汽车等各类产品中，虚拟现实、人工智能以及物联网等新兴技术的出现，半导体市场的需求不断扩张。据中国产业研究院数据库显示，今年1-2月中国集成电路出口量有所增长，出口数量为327.2亿个，同比增长13.6%。

我国半导体行业的快速发展依托了国家各部门所推出的一系列政策支持和优惠条例，其中，2014年6月，工信部发布《国家集成电路产业发展推进纲要》，提出“到2020年，集成电路产业与国际先进水平的差距逐步缩小，全行业销售收入年均增速超过20%，企业可持续发展能力大幅增强”。

但是，目前我国半导体在高端芯片部分对外依存度很高，在产业规模和企业规模与国外差距也较大。因此，国内半导体企业需要正视这种差距，以自己的优势作为突破口。

沈阳拓荆科技有限公司（以下简称“拓荆科技”）是一家沈阳本土的研究和生产极大规模集成电路行业专用薄膜设备的高新技术企业，致力于成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者，提供具备国际竞争力的优质产品。其中，自主研发的等离子化学气相沉积设备（PECVD）是芯片制造生产线上四种主要设备之一，应用于芯片制造的镀膜沉积环节。一条投资50亿美元左右的芯片生产线，需要8亿美元采购这种镀膜设备，有效解决了国产集成电路设备的替代需求，加速了国产化的进程。

拓荆科技自主研发、生产的PECVD设备经过了4000片晶圆产品的检测，使各项技术性能指标以及工艺指标全部达到国际一流设备水平，成本仅是进口设备的70%左右，打破了国内现有12英寸芯片生产线应用设备长期被国外垄断的局面，填补了国内空白。

我国是全球最大的电子制造及消费国，2019年半导体产业与国际形势紧密结合，随着物联网和人工智能时代的来临，智能芯片将成为未来应用最为广泛的芯片之一，我国半导体产业链整体仍需完善，不断提升中国半导体产业在国际市场的竞争力。未来，新兴科技将成为半导体行业新的市场推动力，随着国内企业技术的研发实力不断增强，国内半导体行业将会迎来全新的发展契机。

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